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          • DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機(jī)

          DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機(jī)

          DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機(jī)配有真空腔,射頻電源,真空泵,控制系統(tǒng),流量控制系統(tǒng)。

          關(guān)鍵字:DSX-VPD-8L-S,DSX-VPO-8L-S,DSX-VPD-8L-S等離子清洗機(jī)

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          產(chǎn)品詳情

          DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品簡介:

          設(shè)備簡介:

          1、真空腔

          采用進(jìn)口材料制作而成,焊接無漏氣,*優(yōu)化 8 層電*設(shè)計合理利用空間,專業(yè)等離子發(fā)生方式,絕緣可靠良好。

          2、射頻電源

          *全可靠的射頻電源(13.56MHz),為等離子的產(chǎn)生提供保障。

          3、真空泵

          快速靜音抽真空系統(tǒng)設(shè)計,真空度可至 10pa 以內(nèi),保證設(shè)備使用的各個需求壓力。

          4、控制系統(tǒng)

          PLC+觸摸屏自動控制系統(tǒng)設(shè)計,方便客戶使用和操作。

          5、流量控制系統(tǒng)

          專業(yè)閉環(huán)流量控制系統(tǒng),保證工藝氣體的準(zhǔn)確,確保等離子的效果的穩(wěn)定。


          裝機(jī)前準(zhǔn)備:

          1、壓縮空氣:≥0.5mpa,?6mm PU 管

          2、工藝氣體:AR&O2(純度:≥99.999%)0.15~0.25mpa,?6mm PU 管

          3、廢氣排放:?50mm 接口

          4、主電源:≥ 4mm2 電源線(三相五線),5.7KW Main


          設(shè)備工作流程:

          1、真空抽?。簩a(chǎn)品放置腔體內(nèi),關(guān)上腔體門,打開真空泵,將真空腔內(nèi)氣壓從常壓抽至 30pa(自行設(shè)置)以內(nèi);

          2、添加工藝氣體:將準(zhǔn)確流量的工藝氣體添加至真空腔室內(nèi),均勻分布;

          3、產(chǎn)生等離子:射頻電源提供能量電離真空腔內(nèi)的工藝氣體,形成等離子體;

          4、產(chǎn)品處理:根據(jù)設(shè)置時間處理產(chǎn)品的等離子處理時間;

          5、破真空:產(chǎn)品處理完成后,打開破真空電磁閥,將真空腔壓力恢復(fù)至常壓取出產(chǎn)品。


          DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù):

          名稱(Name)

          Vacuum Plasma system真空等離子清洗機(jī)

          型號(Model)

          DSX- VPD-8L-S

          技術(shù)參數(shù)(Technical Parameter)

          備注(Remarks)

          1

          控制系統(tǒng)

          (Control system)

          PLC+HMI

          Mitsubishi

          2

          真空泵

          Vacuum Pump

          旋片式真空泵

          Rotary vacuum pump

          TVP

          3

          等離子發(fā)生系統(tǒng)

          Plasma generator

          射頻電源 0-1000w+全網(wǎng)絡(luò)自動匹配器

          RF Power 13.56MZH 1000W + Matching network

          KVMEN

          4

          真空監(jiān)控系統(tǒng)Vacuum Guage

          皮拉尼電阻式真空計

          Pirani resistance vacuum gauge

          Ulvac

          5

          氣體流量控制系統(tǒng)Mass Flow Control

          質(zhì)量流量控制器

          MFC control system

          ETON

          6

          氣體控制系統(tǒng)

          Gas control system

          二通電磁閥控制

          2 Channel solenoid valve control

          SMC

          7

          抽真空控制系統(tǒng)Vacuum output control

          高真空氣動擋板閥 GDW-KF40

          Hi-level vacuum pneumatic flapper valve GDW-KF40

          ISO standard

          8

          破真空控制系統(tǒng)Vacuum breaking control

          高真空氣動擋板閥 GDW-KF16

          Hi-level vacuum pneumatic flapper valve

          ISO standard

          9

          電*層數(shù)

          Electrode Layer

          水平電*板 8 層(層數(shù)可選)

          8 Layers of horizontal electrode plate(Option)

          AL6061-L

          10

          有效處理面積

          Effective treatment area

          300mm(D)*400mm(W)

          Option

          11

          工藝氣體通道

          Process gas channel

          兩路工作氣體可選擇:AR O2 N2 H2 CF4 等

          2 channels process gases option: AR O2

          Option

          12

          腔體規(guī)格

          Chamber Size

          450mm(W)*450mm(D)*400mm(H)

          AL-6061-L

          13

          整機(jī)外形尺寸

          Layout Size

          995mm(W)*1085mm(D)*1750mm(H)



          名稱(Name)

          Vacuum Plasma system

          型號(Model)

          DSX-VPO-8L-S

          技術(shù)參數(shù)(Technical parameters)

          備注Remarks

          1

          設(shè)備電源Power supply

          3P : 380VAC 50/60Hz


          2

          設(shè)備功率Power KW

          5.7KW


          3

          工作真空度

          Working vacuum point

          10-100Pa


          4

          抽真空時間

          Vacuum output time

          ≤100s


          5

          破真空時間

          Vacuum breaking time

          ≤30s


          6

          射頻電源功率

          RF Power KW

          0-1000W


          7

          機(jī)臺重量Weight

          ≤500KG


          8

          質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

          MFC Range

          0-200sccm


          9

          操作方式

          Mode of operation

          全自動運行系統(tǒng),一鍵啟動

          Fully auto operation system, One-key starting




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