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日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。
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日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。
日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡介：
質(zhì)量流量計是用來測量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量，但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響，如需準(zhǔn)確測量，需不斷的改變測量條件來配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量，是利用測量氣體的質(zhì)量，而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響，從而可以提供高精度流量檢測和控制，且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用。
日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)：
它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。
1.適用于高溫：可滿足150℃烘焙
2.產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號
3.超清潔類型：接氣部全不銹鋼構(gòu)造
4.適于MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
| SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器 | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?9?1100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：80?9?1100℃ |
| SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載 | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?9?1100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：100?9?1120℃ |
| SEC-8440LSL | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?9?1100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：15?9?135℃ |
| SEC-8450LSL | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?9?1100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：15?9?135℃ |
| SEC-8455LSL | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 30/50 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?9?1100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：15?9?135℃ |
| SEC-8460LSL | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 50/100 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?9?1100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：15?9?135℃ |
| SEC-8440LSM | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?9?1100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：35?9?160℃ |
| SEC-8450LSM | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?9?1100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：35?9?160℃ |
| SEC-8455LSM | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 30/50 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?9?1100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：35?9?160℃ |
| SEC-8460LSM | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 50/100 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?9?1100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：35?9?160℃ |
| SEC-8440LSH | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?9?1100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：60?9?180℃ |
| SEC-8450LSH | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 10/20 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?9?1100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：60?9?180℃ |
| SEC-8455LSH | |
| 氣體接觸部材質(zhì) | SUS-316L |
| 閥門類型 | NO: 非通電時：開 |
| 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 | 30/50 SLM |
| 流量控制范圍 | 2?9?1100％ F.S.(滿量程) |
| 流量精度 | ±1.0％ F.S.(滿量程) ?使用溫度：60?9?180℃ |
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