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          日本Horiba STEC LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

          日本Horiba STEC LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器是世界上初次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器。

          關(guān)鍵字:Horiba LF/LV,LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì),日本Horiba流量控制器

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          產(chǎn)品詳情

          日本Horiba STEC LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器是世界上初次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器。


          日本Horiba STEC LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器產(chǎn)品簡介:

          搭載有世界上初次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器


          日本Horiba STEC LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器產(chǎn)品特點(diǎn):

          通過采用數(shù)字回路,實(shí)現(xiàn)了高精度、高速響應(yīng)。

          可以進(jìn)行微升以上的微小流量控制。

          可以進(jìn)行低沸點(diǎn)液體材料、高粘度液體材料的精細(xì)流體控制。

          超潔凈類型



          日本Horiba STEC LF/LV微小液體質(zhì)量流量計(jì)/控制器技術(shù)參數(shù):

          名稱質(zhì)量流量計(jì)型號LF-F20M-ALF-F30M-ALF-F40M-ALF-F50M-ALF-F60M-A

          全標(biāo)度流量(g/min)

          0.02/0.05/0.1

          0.2/0.5

          1/2/5

          10/20

          50/100

          檢測控制范圍

          5??100% F.S.

          對象液體種類 *1

          可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

          液體粘度 *2

          大值. 0.1 Pa·s (100cp)

          精度 *3

          ±1% F.S.

          直線性 *3

          ±0.5% F.S.

          重復(fù)性 *3

          ±0.5% F.S.

          響應(yīng)精度

          3秒以內(nèi) (T98)

          2秒以內(nèi) (T98)

          使用環(huán)境溫度 *4

          5??50℃ (15 ?? 45℃精度的確保)

          溫度影響 Span

          ±0.1%F.S./℃ 大值±1%

          工作差壓值值 *5

          大值. 5MPa (視為流量計(jì)) / 50??300kPa (with piezo 控制閥)

          耐壓

          10MPa (視為流量計(jì))

          壓力損失

          大值. 500Pa

          流量設(shè)定信號

          模擬:0.25??5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)

          流量輸出信號

          模擬:0??5 VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)

          驅(qū)動電源

          +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

          外部泄漏規(guī)格

          5×10-12Pa·m3/s (He)

          接液部材質(zhì)

          SUS316L, Ni

          標(biāo)準(zhǔn)接頭

          1/16”, 1/8” SWL類型, 

          1/8” VCR 類型

          1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

          1/4” SWL類型 

          1/4” VCR 類型


          名稱質(zhì)量流量控制器型號LV-F20 (PO/MO)LV-F30 (PO/MO)LV-F40 (PO/MO)LV-F50 (PO/MO)LV-F60 (PO/MO)

          全標(biāo)度流量(g/min)

          0.02/0.05/0.1

          0.2/0.5

          1/2/5

          10/20

          50/100

          檢測控制范圍

          5??100% F.S.

          對象液體種類 *1

          可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

          液體粘度 *2

          大值. 0.01 Pa·s (10cp)

          精度 *3

          ±1% F.S.

          直線性 *3

          ±0.5% F.S.

          重復(fù)性 *3

          ±0.5% F.S.

          響應(yīng)精度

          3秒以內(nèi) (T98)

          2秒以內(nèi) (T98)

          使用環(huán)境溫度 *4

          5??50℃ (15 ?? 45℃精度的確保)

          溫度影響Span

          ±0.1%F.S./℃ 大值±1%

          工作差壓值 *5

          0.05??0.3MPa

          耐壓

          1MPa

          壓力損失

          流量設(shè)定信號

          模擬:0.25??5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)

          流量輸出信號

          模擬:0??5 VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)

          驅(qū)動電源

          +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

          外部泄漏規(guī)格

          PO 類型:1×10-8Pa?m3/s (He) MO 類型: 5×10-12Pa?m3/s (He)

          接液部材質(zhì)

          PO 類型:SUS316L, Ni, PTFE, PFA MO 類型: SUS316L,Ni

          標(biāo)準(zhǔn)接頭

          1/16” , 1/8” SWL類型, 1/8” VCR 類型

          1/8 SWL類型,

           1/8”VCR 類型

          1/4” SWL類型

          1/4” VCR 類型

          *1:LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進(jìn)行了流量校正 (請預(yù)先指定所使用 的液體。)

          不能檢測含有固體物的液體。

          如果混合液中混合比會發(fā)生變化時,請預(yù)先進(jìn)行咨詢協(xié)商。

          LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時,請?jiān)谝淮味?入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。

          *2:LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程,可以適用到較大值, 0.1Pa?s。有關(guān)高粘度的液體請預(yù)先進(jìn)行咨詢協(xié)商。

          *3:以SEMI E56-1296 為準(zhǔn)。

          *4:進(jìn)行測量??控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時,使用時請把溫差控制在10℃以 內(nèi);如果高于液體溫度時,使用時請把溫差控制在3℃以內(nèi)。

          *5:這是在粘度0.001Pa??s中的F.S.流量值。


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