日本Horiba S48 32/HMT氣體質(zhì)量流量控制器

1

流量規(guī)格

(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10,20,30,50)L/min

2

調(diào)節(jié)閥類型

電磁調(diào)節(jié)閥

3

調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)

常閉

4

安裝角度

任意

5

流量控制范圍

2%～100%

6

流量測量范圍

0～100%

7

響應(yīng)時間

2s（T98，設(shè)定值的±2% F.S.）

8

工作環(huán)境溫度

5℃～50℃

9

精度保證溫度

15℃～35℃

10

精度

±1.0%F.S.

11

線性精度

±0.5%F.S.

12

重復(fù)性

±0.2%F.S.

13

工作壓差

～5L/min (50～300)kPa(D)
5L/min～10L/min (100～300)kPa(D) 
30L/min～50L/min (150～300)kPa(D)

14

耐壓

3MPa

15

泄漏率

1×10-8 Pa?m3/s （He）

16

接觸氣體材料

316L,PTFE,Viton氟橡膠

17

管路接頭

Swagelok:1/4″Φ6 Φ10 VCR:1/4″3/8″

18

供電電源

±15VDC(±5%)  +15V＜100mA,-15V＜150mA

+24VDC

(寬電壓+11～+25V),
＜250mA(+24Vdc供電時)

19

設(shè)定信號

(0～5)VDC 輸入阻抗＞1MΩ

4～20mA；

（可定制：1～5V或0～5V）

20

流量輸出信號

(0～5)VDC 負(fù)載能力≤3mA

21

電氣接頭

D-SUB15,D-SUB9

22

重量(kg)

0.9