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          日本Horiba STEC SEC-E40MK3氣體質(zhì)量流量控制器

          日本Horiba STEC SEC-E40MK3氣體質(zhì)量流量控制器主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實(shí)現(xiàn)了大幅度的成本降低。適合于定流量、長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場(chǎng)合。而且也同樣適用于研究所的簡(jiǎn)易流量控制。

          關(guān)鍵字:SEC-E40MK3,SEC-E40MK3流量控制器,日本Horiba流量控制器

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          產(chǎn)品詳情

          日本Horiba STEC SEC-E40MK3氣體質(zhì)量流量控制器主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實(shí)現(xiàn)了大幅度的成本降低。適合于定流量、長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場(chǎng)合。而且也同樣適用于研究所的簡(jiǎn)易流量控制。


          日本Horiba STEC SEC-E40MK3氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

          MARK3系列是在未改變質(zhì)量流量控制器所須品質(zhì)特性的條件下*底實(shí)現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品。材質(zhì)和泄漏規(guī)格則與一般型號(hào)產(chǎn)品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實(shí)現(xiàn)了大幅度的成本降低。適合于定流量、長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場(chǎng)合。而且也同樣適用于研究所的簡(jiǎn)易流量控制。


          日本Horiba STEC SEC-E40MK3氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn):

          高精度、流量設(shè)定后快速應(yīng)答(1秒之內(nèi))。

          具有自動(dòng)調(diào)零功能。



          日本Horiba STEC SEC-E40MK3氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù):

          型號(hào)

          SEC-

           (質(zhì)量流量控制器)

          E40/E40MK3

          E50/E50MK3

          SEF- (質(zhì)量流量計(jì))

          E40

          E50

          適用氣體種類*1

          非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)

          氣體接觸部材質(zhì)

          SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼

          閥門型號(hào)

          非通電時(shí)關(guān)閉

          標(biāo)準(zhǔn)流量量程

           (N2相應(yīng)F.S.)

          10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

          20/30 SLM

          流量控制范圍
          (適于SEC系列)

          2?100% F.S.

          流量測(cè)量范圍
          (適于SEF系列)

          0?100% F.S.

          響應(yīng)速度

          1秒以內(nèi)(T98)

          流量精度

          ±1% F.S.

          直線性

          ±0.5% F.S.

          反復(fù)性

          ±0.2% F.S.

          工作差壓值值 
          (適于SEC系列)

          10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)

          使用壓力
          (適于SEF系列)

          300kPa(G)以下

          耐壓

          1MPa(G)以下

          外部泄漏率

          1×10-8Pa?m3/s(He)以下

          使用環(huán)境溫度

          5?50℃(精度的確保:15?35℃)

          流量設(shè)定信號(hào)

          0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

          流量輸出信號(hào)

          0?5VDC(很小負(fù)荷電阻2kΩ)

          驅(qū)動(dòng)電源

          +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

          +15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

          標(biāo)準(zhǔn)接頭*2

          1/4SWL 類型

           

           

           

           

           


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